CCI HD

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    Le CCI HD est un profileur 3D optique sans contact avec une fonctionnalité de mesure de film fin et épais. Il utilise un algorithme de corrélation innovant et breveté pour rechercher le pic de cohérence et la position de phase d'un gabarit d'interférence produit par notre unité de numérisation optique de précision. Le nouveau CCI HD associe une fonctionnalité de mesure dimensionnelle sans contact leader à l'échelle internationale avec une technologie de film fin et épais avancée.

    Le CCI HD a été conçu pour garantir les deux types de mesure d'épaisseur de film, ainsi que des fonctionnalités de mesure dimensionnelle et de rugosité. L'analyse de film épais a été utilisée au cours des années passées pour procéder à l'étude des revêtements semi-transparents allant jusqu'à environ 1,5 microns ; le seuil dépendant de l'indice de réfraction des matériaux et du NA de l'objectif. Les revêtements plus fins ont constitué un défi majeur.

    Il est désormais possible d'étudier les revêtements à film fin supérieurs ou égaux à 50 nm (également en fonction de l'indice de réfraction) par interférométrie. Cette nouvelle approche permet l'étude des caractéristiques, telles que l'épaisseur de film, la rugosité d'interface, les défauts de piqûre des surfaces avec revêtement fin, le tout à l'aide d'une seule mesure.

    • Matrice de pixels 2048 x 2048 pour grand champ de vision avec haute résolution
    • Résolution 0,1 angström sur l'ensemble de la plage de mesure
    • Possibilité de gérer une réflectivité de surface de 0,3 % à 100 %
    • Répétabilité RMS < 0,2 angström, répétabilité d'étalon de hauteur < 0,1 %
    • Logiciel de contrôle et d'analyse 64 bits en plusieurs langues
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