Mesure d'épi-plaquette

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    En raison de l'expansion de l'utilisation des éléments électro-optiques qui sont désormais courants dans les télécommunications et les technologies d'affichage, l'épitaxie émerge en tant que technique clé pour la production de composant. L'épitaxie est le processus qui consiste à déposer de très minces couches de matériaux de semi-conducteur sur la surface d'un seul substrat en cristal. Chaque couche de cristal est appelée une épicouche.

     

    Métrologie

    Rugosité de la surface
    L'état de la surface est un paramètre d'une importance cruciale pour spécifier la qualité des semi-conducteurs épitaxiaux pour les clients et les fournisseurs. Avec la demande actuelle pour des circuits toujours plus petits imprimés sur des plaquettes, les tolérances de rugosité deviennent de plus en plus strictes. L'état de la surface pour les épi-plaquettes est spécifié en nm et ceci nécessite un système avec un bruit très bas et une résolution élevée pour les mesurer.

     

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