Microsystèmes électromécaniques et nanotechnologie

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    Les microsystèmes électromécaniques sont utilisés aujourd'hui pour de nombreuses applications, y compris les capteurs de pression et d'accélération, les micro-écrans miroirs et les micro-pompes liquides. Les dispositifs de microsystèmes électromécaniques développent les techniques de fabrication utilisées par l'industrie des circuits intégrés pour créer des éléments mécaniques, tels que les engrenages, les diaphragmes et les poutres de connexion. La mesure précise de tous ces éléments est essentielle pour répondre à la demande de production de masse de dispositifs de microsystèmes électromécaniques de haute qualité et à faible coût.

     

    Métrologie

    Rugosité
    La mesure précise de la rugosité dans les dispositifs de microsystèmes électromécaniques permet de contrôler les interactions de surface, qu'il s'agisse d'interactions solides comme dans les systèmes de micro-engrenages ou liquides comme dans les micro-pompes liquides.

    Hauteur de marche
    Surveiller la hauteur de marche des dispositifs de microsystèmes électromécaniques est un indicateur important de la performance. Avec les informations de dimension latérale, la hauteur de marche donne une bonne approximation de la masse qui affecte la fréquence d'oscillation fondamentale des éléments individuels du dispositif.

    Dimensions latérales
    Les dimensions latérales sont particulièrement importantes lors de la caractérisation des micro-engrenages et des systèmes liquides. La mesure précise du volume et de la surface, ainsi que les dimensions critiques, telles que les largeurs de poutre pour aider à contrôler la performance du dispositif final.

     

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